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可實現(xiàn)智能化編程烤膠控制的“烤膠機”

更新日期:2022-01-13       點擊次數(shù):1623
  烤膠機是針對半導體工藝生產(chǎn)中晶圓烘烤而設計的一款產(chǎn)品,是—種設計為精確控溫、準確計時和接近式加熱的高性能實驗窒設備,帶有真空吸附、頂針定位烤膠、線性升溫等功能,可實現(xiàn)智能化編程烤膠控制。儀器采用高精度微處理器,溫度控制更加精確??赏瑫r顯示設定溫度和實際溫度,外觀小巧精致,更適宜通風櫥使用。結(jié)構(gòu)簡單,可靠性高,元器件均做防腐蝕處理加熱部件與元器件分離設計,更加耐用。
 
  烤膠機外殼采用不銹鋼鍍膜處理,耐氧化不變色。加熱部件采用高溫加熱盤管,具有使用壽命長,加熱均勻性高的特點。采用新穎的數(shù)字式加熱設計,可以精準的控制表面溫度;堅固耐腐蝕的硬質(zhì)陽極氧化鋁面板,優(yōu)異的導熱性可以滿足多種應用場景;數(shù)字式顯示器可迅速編碼準確控制溫度;獨立的防過熱電路設計,確保實驗安全。
 
  烤膠機采用全彩觸摸屏操作,高級PLC控制,所有運行參數(shù)如加熱時間、頂升高度的選擇等都可在觸屏上方便設置。程控準確計時,控溫精度高。全不銹鋼機身,經(jīng)久耐用,發(fā)熱部件采用特殊的隔熱設計,均勻性高、使用壽命長??纱尜A多組烤膠配方,每個配方加熱階段,加熱時間和頂針高度可調(diào)。熱板表面還帶真空吸附功能,確保基片與熱板表面緊密接觸式烤膠。還可提供恒溫模式和線性控溫模式烤膠程序,可實現(xiàn)溫度的線性加熱和降溫控制。
 
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